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一種鏡頭及晶圓的制作方法

文檔序號:42326839發(fā)布日期:2025-07-01 19:46閱讀:8來源:國知局

本申請涉及紅外探測,尤其涉及一種鏡頭及晶圓。


背景技術(shù):

1、紅外熱成像運(yùn)用光電技術(shù)檢測物體熱輻射的紅外線特定波段信號,將該信號轉(zhuǎn)換成可供人類視覺分辨的圖像和圖形,并可以通過內(nèi)置測溫算法標(biāo)定得到目標(biāo)溫度值。

2、現(xiàn)有技術(shù)中,將帶有陣列排布鏡頭單元的晶圓級光學(xué)鏡頭圓片與鏤空型支架進(jìn)行鍵合,得到鍵合體,再將鍵合體與設(shè)有晶圓級封裝的紅外探測集成電路的基板對準(zhǔn)鍵合,整體劃片后得到單個(gè)探測器模組;在鏤空型支架的側(cè)壁集成了吸氣劑用于保持封裝體內(nèi)一定的真空度,底部的紅外探測集成電路已經(jīng)采用晶圓級真空封裝。

3、該方式在已進(jìn)行晶圓級封裝的紅外探測集成電路片外部增加鏤空型支架和光學(xué)鏡頭,形成的模組水平方向面積將大于紅外探測集成電路的面積,會(huì)造成模組體積較大、單片晶圓產(chǎn)量下降。也就是說,現(xiàn)有技術(shù)中的模組不僅體積大,還會(huì)使得封裝更加復(fù)雜。


技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明提供一種鏡頭及晶圓,該鏡頭通過透鏡層和吸氣劑層連接得到,集成度更高,體積更小,可直接用于真空封裝。

2、第一方面,本申請?zhí)峁┝艘环N鏡頭。鏡頭包括:透鏡層和吸氣劑層;吸氣劑層,位于透鏡層在自身厚度方向上的一側(cè),與透鏡層連接。

3、基于上述方案,本申請一些實(shí)施例提供一種鏡頭,該鏡頭通過透鏡層和吸氣劑層連接得到,可直接用于真空封裝,從而可以提高鏡頭封裝的良率。

4、在一些實(shí)施例中,所述透鏡層包括透鏡;所述吸氣劑層在所述透鏡層上的投影圍繞所述透鏡,或者位于所述透鏡的旁側(cè)。

5、在一些實(shí)施例中,所述透鏡層在自身厚度方向上的一側(cè)還設(shè)置有環(huán)狀鍵合區(qū)域,所述吸氣劑層和所述透鏡位于所述環(huán)狀鍵合區(qū)域圍合的區(qū)域內(nèi)。

6、在一些實(shí)施例中,所述透鏡的入光面設(shè)置有光闌層;所述光闌層用于控制進(jìn)入所述透鏡的光線數(shù)量。

7、在一些實(shí)施例中,所述鏡頭還包括:支撐層和第一連接結(jié)構(gòu);支撐層,位于所述透鏡層在自身厚度方向上的一側(cè),所述支撐層具有透光區(qū);所述透鏡在所述支撐層上的投影與所述透光區(qū)重疊;第一連接結(jié)構(gòu),位于所述透鏡層和所述支撐層之間,設(shè)置在所述透鏡層的環(huán)狀鍵合區(qū)域,用于鍵合所述透鏡層和所述支撐層;所述第一連接結(jié)構(gòu)圍繞所述透光區(qū)。

8、在一些實(shí)施例中,所述透鏡層、所述支撐層、和所述第一連接結(jié)構(gòu)圍成腔體;所述鏡頭還包括:吸氣劑層,所述吸氣劑層設(shè)置在所述腔體內(nèi),所述吸氣劑層設(shè)置在所述支撐層和所述透鏡層中的至少一者上。

9、在一些實(shí)施例中,所述支撐層形成通孔,所述通孔沿所述支撐層的厚度方向貫穿所述支撐層,所述通孔形成所述透光區(qū)。

10、在一些實(shí)施例中,所述支撐層包括靠近所述透鏡層的第一表面和遠(yuǎn)離所述透鏡層的第二表面;所述通孔的孔壁與所述第一表面相垂直;或者,沿所述支撐層的厚度方向且由所述第一表面至所述第二表面,所述通孔的孔徑逐漸增大或逐漸減??;或者,沿所述支撐層的厚度方向且由所述第一表面至所述第二表面,所述通孔的孔徑先逐漸減小,再逐漸增大。

11、在一些實(shí)施例中,所述支撐層設(shè)有第一盲孔,所述第一盲孔的開口朝向所述透鏡層或朝向遠(yuǎn)離所述透鏡層的一側(cè);或者,所述支撐層設(shè)有第一盲孔和第二盲孔,所述第一盲孔的開口朝向所述透鏡層,所述第二盲孔的開口朝向遠(yuǎn)離所述透鏡層的一側(cè),所述第一盲孔和所述第二盲孔在所述支撐層的厚度方向重疊。

12、在一些實(shí)施例中,所述第一盲孔的孔壁與所述第一盲孔的底面的夾角大于或等于90°;和/或,所述第二盲孔的孔壁與所述第二盲孔的底面的夾角大于或等于90°。

13、在一些實(shí)施例中,所述支撐層將所述腔體分隔為第一子腔和第二子腔;所述吸氣劑層包括第一吸氣劑層和第二吸氣劑層,所述第一吸氣劑層設(shè)于所述第一子腔內(nèi),所述第二吸氣劑層設(shè)于所述第二子腔內(nèi)。

14、在一些實(shí)施例中,所述透鏡層還包括第一光學(xué)膜和/或第二光學(xué)膜,所述第一光學(xué)膜設(shè)于所述透鏡靠近所述支撐層的一側(cè);所述第一光學(xué)膜用于提高所述光線的透過率,或用于降低設(shè)定波長范圍內(nèi)的光線的透過率;所述第二光學(xué)膜設(shè)于所述透鏡遠(yuǎn)離所述支撐層的一側(cè);所述第二光學(xué)膜用于提高所述光線的透過率,或用于降低設(shè)定波長范圍內(nèi)的光線透過率

15、在一些實(shí)施例中,所述透鏡層、所述第一連接結(jié)構(gòu)和所述支撐層沿所述透鏡層的厚度方向?qū)ΨQ排布;或者,所述透鏡層、所述第一連接結(jié)構(gòu)和所述支撐層沿所述透鏡層的厚度方向非對稱排布。

16、在一些實(shí)施例中,所述第一連接結(jié)構(gòu)包括:第一焊環(huán)、第二焊環(huán)和第一焊料;所述第一焊環(huán)設(shè)置在所述透鏡層靠近所述支撐層的一側(cè),所述第二焊環(huán)設(shè)置在所述支撐層靠近所述透鏡層的一側(cè),所述第一焊料設(shè)置在所述第一焊環(huán)和所述第二焊環(huán)之間,用于連接所述第一焊環(huán)和所述第二焊環(huán)。

17、第二方面,本申請?zhí)峁┝艘环N晶圓,包括:多個(gè)上述任一實(shí)施例所述的鏡頭;其中,多個(gè)所述鏡頭陣列排布。

18、關(guān)于晶圓的有益效果與鏡頭的有益效果相同,此處不再贅述。



技術(shù)特征:

1.一種鏡頭,其特征在于,包括:

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鏡頭,其特征在于,所述透鏡層包括透鏡;

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的鏡頭,其特征在于,所述透鏡層在自身厚度方向上的一側(cè)還設(shè)置有環(huán)狀鍵合區(qū)域;

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的鏡頭,其特征在于,所述透鏡的入光面設(shè)置有光闌層;

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的鏡頭,其特征在于,所述鏡頭還包括:

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的鏡頭,其特征在于,所述透鏡層、所述支撐層、和所述第一連接結(jié)構(gòu)圍成腔體;

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的鏡頭,其特征在于,所述支撐層形成通孔,所述通孔沿所述支撐層的厚度方向貫穿所述支撐層,所述通孔形成所述透光區(qū)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的鏡頭,其特征在于,所述支撐層包括靠近所述透鏡層的第一表面和遠(yuǎn)離所述透鏡層的第二表面;

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的鏡頭,其特征在于,所述吸氣劑層設(shè)置在所述通孔的孔壁上。

10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的鏡頭,其特征在于,所述支撐層設(shè)有第一盲孔,所述第一盲孔的開口朝向所述透鏡層或朝向遠(yuǎn)離所述透鏡層的一側(cè);或者,

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的鏡頭,其特征在于,所述第一盲孔的孔壁與所述第一盲孔的底面的夾角大于或等于90°;和/或,

12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的鏡頭,其特征在于,所述支撐層將所述腔體分隔為第一子腔和第二子腔;

13.根據(jù)權(quán)利要求5所述的鏡頭,其特征在于,所述透鏡層還包括第一光學(xué)膜和/或第二光學(xué)膜,

14.根據(jù)權(quán)利要求5~13中任一項(xiàng)所述的鏡頭,其特征在于,所述透鏡層、所述第一連接結(jié)構(gòu)和所述支撐層沿所述透鏡層的厚度方向?qū)ΨQ排布;或者,

15.根據(jù)權(quán)利要求5~13中任一項(xiàng)所述的鏡頭,其特征在于,所述第一連接結(jié)構(gòu)包括:第一焊環(huán)、第二焊環(huán)和第一焊料;

16.一種晶圓,其特征在于,包括:多個(gè)如權(quán)利要求1~15中任一項(xiàng)所述的鏡頭;


技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種鏡頭及晶圓,涉及紅外探測技術(shù)領(lǐng)域,該鏡頭通過透鏡層和吸氣劑層連接得到,集成度更高,體積更小,可直接用于真空封裝。鏡頭包括:透鏡層和吸氣劑層;吸氣劑層,位于透鏡層在自身厚度方向上的一側(cè),與透鏡層連接。

技術(shù)研發(fā)人員:維帥,劉建華,丁金玲
受保護(hù)的技術(shù)使用者:杭州??滴⒂皞鞲锌萍加邢薰?br/>技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/6/30
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