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封裝結(jié)構(gòu)及其形成方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):42102293

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本發(fā)明實(shí)施例涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,尤其涉及一種封裝結(jié)構(gòu)及其形成方法。背景技術(shù)、隨著信息技術(shù)的飛速發(fā)展,對(duì)光模塊的傳輸速率、時(shí)延、能效等方面提出了越來(lái)越高的要求。傳統(tǒng)的光模塊中光芯片與電芯片分離的結(jié)構(gòu),已無(wú)法滿足當(dāng)前對(duì)高速、高效率信號(hào)傳輸?shù)男枨?。光電合?cpo)結(jié)構(gòu)應(yīng)運(yùn)而生,其將光芯片與電芯片封裝在同一封裝體內(nèi),可有效提升信號(hào)傳輸效率和降低功耗。、在光電合封結(jié)構(gòu)中,光芯片與光纖模塊的耦合是關(guān)鍵環(huán)節(jié)之一。目前常見(jiàn)的耦合方式包括邊緣耦合和表面耦合,且存在以下問(wèn)題:.光芯片封裝過(guò)程中其脆弱的光口區(qū)...
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